• Nikon 高倍金相显微镜  研究级体视显微镜的详细资料：

FAB应用场景：3寸、4寸、6寸晶圆的外延、晶圆工艺、后道工艺、封装、老化测试等表面缺陷检验50X、100X、200X、500X、1000X

（如污染、划痕、工艺缺陷、蚀刻、金属、减薄、封装、前后腔面、老化等缺陷的细致检验）；外接CCD对产品进行观察、测量、拍照、记录留存；8寸、12寸选用其他机型均可完成晶圆的检验。