光学轮廓仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
　　
　　光学轮廓仪对各种产品，部件和材料的表面轮廓，粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
　　
　　光学轮廓仪的应用领域：
　　
　　传统的机械零件由于受加工设备的限制，对精度包括平面度，粗糙度的要求常规下停留在微米量级。但随着技术发展，人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进，设备加工精度的提高带动检测技术的发展，传统的检测手段包括接触式和2D方式的检测方法对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。
　　
　　光学轮廓仪最初应用在光学加工行业时，其3D、高速、精密、可靠和稳定，开始引起加工人士的注意并开始应用。光学轮廓仪已在汽车发动机喷油嘴、半导体切割刀具、人工关节制造、量块标定等方面有大量的应用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中呈现出新的应用。
　　
　　光学轮廓仪让光学轮廓测量价格更为实惠，使用了目前先进的垂直扫描干涉(VSI)结合高精确度相移干涉(PSI)测量，以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。