MX51的详细说明
　　产品特性
　　紧凑的设计实现小的占地空间
　　镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
　　标配158X158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
　　选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
　　采用防静电设计,极大方便磁头检查
　　提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
　　光学系统:UIS (无限远矫正) 光学系统MX51
　　显微镜镜体:Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)行程相同:15mm(配合透射光照明)Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)调焦机构张力可调有调焦上限位机构MX51
　　照明系统:BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2万能照明器MX51
　　透射照明:明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
　　OLYMPUS MX51是一款显微镜，采用防静电设计，无限远矫正光学系统。