白光干涉显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
　　
　　白光干涉显微镜是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。
　　
　　白光干涉显微镜的特点：
　　
　　1、非接触式测量：避免物件受损。
　　
　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
　　
　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
　　
　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。
　　
　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。
　　
　　6、扫描仪：闭环控制系统。
　　
　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
　　
　　8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
　　
　　白光干涉显微镜在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。