光学轮廓仪的原理是什么?有哪些应用领域?
时间:2022-09-14 08:54点击次数:656
光学轮廓仪是一款使用便利,性价比高的非接触无损伤表面测量轮廓仪,是适用于生产领域的纳米尺度3D轮廓测量工具。在生产中,材料表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状对于产品的性能与功能有着最直接的影响。
光学轮廓仪的基本原理:
白色光经分光板发射出特定波长的光。这种特定波长的光在双光束干涉物镜中,经过分光板被分成两束光,一束光照射到参照物表面,另一束光照射样品表面,这样得到的两束反射光在相机上成像。将样品表面的凹凸不平引起的光程差所获得的干涉条纹信息转换成高度信息,生成3D图像。
测量时通过计算机控制徽驱动装置的进给带动参考镜的进给,这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入干涉区,如果在充足的扫描范围内进给,被测样本表面的整个高度范围都可以通过最佳干涉位置。
光学轮廓仪的应用领域:
轮廓仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。
(1)在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。
(2)在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状;各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线;球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的沟心距;四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。
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