关于光刻胶小知识
时间:2024-10-13 16:24点击次数:824
光刻胶,又称为光阻剂或光刻材料,是半导体制造过程中使用的一种关键材料。它在光刻技术中扮演着至关重要的角色,用于在半导体晶圆上形成微细的图案和结构。
一、光刻主要由曝光、显影、刻蚀等主要步骤组成。为了增强图案传递的精确性和可靠性,整个过程还包括涂胶、去水烘烤(Dehydration)、涂底(Priming)、软烤(Soft Bake)、硬烤(Hard Bake)等步骤。
二、光刻胶是一种对光敏感的聚合物,受到光辐照之后发生光化学反应,其内部分子结构发生变化,在显影液中光刻胶感光部分与未感光部分的熔解速度相差非常大。由三种成分组成:感光剂 (Sensitizer),树脂(Resin),溶剂(Solvent),根据对光作用后产生的不同化学反应,把光刻胶分成两类:正胶、负胶。
四、光刻胶发展趋势:
1、高分辨率高分辨率:
目标:实现更精细的图案。
技术:引入更短波长的光源(如极紫外光)和新型光刻胶材料。
2. 低缺陷率: 目标:减少制造过程中的缺陷。
技术:优化光刻胶配方和制备工艺。
3. 多功能性
目标:提高光刻胶的多功能性,适应更多应用场景。
技术:开发具有特殊性能的添加剂和新型树脂。