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关于光刻胶小知识
关于光刻胶小知识
时间:2024-10-13 16:24点击次数:357

光刻胶,又称为光阻剂或光刻材料,是半导体制造过程中使用的一种关键材料。它在光刻技术中扮演着至关重要的角色,用于在半导体晶圆上形成微细的图案和结构。

 

一、光刻主要由曝光、显影、刻蚀等主要步骤组成。为了增强图案传递的精确性和可靠性,整个过程还包括涂胶、去水烘烤(Dehydration)、涂底(Priming)、软烤(Soft Bake)、硬烤(Hard Bake)等步骤。

 

二、光刻胶是一种对光敏感的聚合物,受到光辐照之后发生光化学反应,其内部分子结构发生变化,在显影液中光刻胶感光部分与未感光部分的熔解速度相差非常大。由三种成分组成:感光剂  (Sensitizer),树脂(Resin),溶剂(Solvent),根据对光作用后产生的不同化学反应,把光刻胶分成两类:正胶、负胶。

三、光刻胶的使用: 1、涂布:通过旋涂、喷涂等方式将光刻胶均匀涂布在基板上。
 2、曝光:使用光刻机将图案转移到光刻胶上。
3、显影:使用显影液将曝光部分或未曝光部分溶解,形成所需图案。
4、后处理:进行烘烤、蚀刻等后续处理,最终形成所需的微结构。

四、光刻胶发展趋势: 

1、高分辨率高分辨率:

      目标:实现更精细的图案。

      技术:引入更短波长的光源(如极紫外光)和新型光刻胶材料。

2. 低缺陷率: 目标:减少制造过程中的缺陷。

         技术:优化光刻胶配方和制备工艺。

3. 多功能性

      目标:提高光刻胶的多功能性,适应更多应用场景。

      技术:开发具有特殊性能的添加剂和新型树脂。